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脉冲激光沉积样品台

简要描述:脉冲激光沉积样品台是一种物理气相沉积技术,用于在衬底上生长高质量的薄膜。脉冲激光沉积系统中的样品台是一个关键组件,用于支撑和加热待沉积的样品。

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  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2024-04-24
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详细介绍

品牌其他品牌价格区间10万-50万
应用领域化工,生物产业,交通,制药,综合

脉冲激光沉积样品台是一种物理气相沉积技术,用于在衬底上生长高质量的薄膜。脉冲激光沉积样品台是一个关键组件,用于支撑和加热待沉积的样品。

样品台的主要功能是提供一个均匀且稳定的加热环境,以促进材料从靶材到衬底的转移。在脉冲激光沉积过程中,高能量的激光脉冲轰击靶材,使靶材表面的原子或分子蒸发,并沉积在衬底上形成薄膜。为了有效地进行这一过程,样品台需要能够精确地控制温度,以确保沉积的材料具有所需的晶体结构和性质。

此外,样品台还需要具备足够的稳定性和耐久性,以承受脉冲激光沉积过程中产生的高温、高压和其他条件。因此,样品台通常由耐高温、耐腐蚀的材料制成,如陶瓷或金属。

总之,脉冲 激光沉积样品台是脉冲激光沉积系统中的重要组成部分,对于确保沉积过程的稳定性和高效性至关重要。除了基本的加热和稳定性要求外,脉冲激光沉积 样品台的设计还需要考虑以下几个方面:

1. **温度控制精度**:在薄膜生长过程中,温度是一个非常重要的参数。因此,样品台需要具备精确的温度控制功能,以确保在沉积过程中温度保持稳定,从而获得高质量的薄膜。

2. **样品台的形状和尺寸**:样品台的形状和尺寸应与靶材和衬底的尺寸相匹配,以便能够均匀地加热靶材,并确保激光脉冲能够充分作用在靶材表面。

3. **热传递效率**:为了快速达到所需的温度,样品台需要具有良好的热传递性能。这通常通过在样品台内部加入热电阻或热电偶等温度传感器来实现,以便能够实时监测和控制样品的温度。

4. **样品的固定和更换**:样品台需要提供一种可靠的方式来固定靶材,并便于在沉积过程中更换靶材。这通常通过设计特定的夹具或支架来实现,以确保靶材在沉积过程中保持固定且位置不变。

5. **光学窗口**:为了观察和控制沉积过程,样品台通常配备有光学窗口。这个窗口需要具有高透光性,以便能够清晰地观察靶材表面的激光脉冲和沉积过程。

综上所述,脉冲 激光沉积样品台的设计需要综合考虑多个方面,包括温度控制、形状尺寸、热传递效率、样品固定和更换以及光学窗口等。通过合理的设计和制造,可以获得高性能的样品台,从而支持脉冲激光沉积技术的高效和稳定应用。


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