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脉冲激光沉积靶台

简要描述:脉冲激光沉积靶台的设计和应用对于脉冲激光沉积系统的性能和实验结果具有重要影响。通过综合考虑稳定性、热隔离、灵活性、靶材均匀性、冷却机制以及靶材旋转等因素,可以设计出更加先进、高效和稳定的靶台,以满足不同领域和应用的需求。

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  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2024-04-24
  • 访  问  量:73

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详细介绍

品牌其他品牌价格区间10万-50万
应用领域化工,生物产业,交通,制药,综合安装法兰CF100 (1 英寸),CF160 (2 英寸)
真空内长度165 mm (可定制长度)

脉冲激光沉积 靶台是脉冲激光沉积系统中的关键部分,主要用于固定和支撑靶材。靶材是被激光脉冲轰击以产生材料蒸气的源材料。

脉冲激光沉积系统中的靶台设计需要满足一些关键要求:

1. 稳定性:靶台必须能够稳定地固定靶材,以防止在激光脉冲过程中靶材的移动或变形。

2. 热隔离:靶台还需要有效地隔离靶材从激光产生的热量,以防止靶材在激光脉冲过程中过热。

3. 灵活性:靶台应允许靶材的更换,以便在不同的实验或生产过程中使用不同的材料。

脉冲激光沉积 靶台的具体设计可能因不同的系统和应用而有所不同。一些高级的靶台设计可能包括自动靶材更换系统,以进一步提高生产效率。此外,靶台的设计还需要考虑到靶材的大小、形状和重量等因素。

总的来说,脉冲激光沉积靶台是脉冲激光沉积系统中的重要组成部分,其设计需要满足稳定性、热隔离和灵活性等关键要求,以确保系统的有效运行和实验的成功进行。除了上述提到的关键要求外,脉冲激光沉积靶台的设计还需要考虑以下几个因素:

4. 靶材的均匀性:为了获得高质量的薄膜,靶材在激光脉冲过程中需要均匀地蒸发。因此,靶台的设计应确保靶材表面与激光束之间的距离保持恒定,以避免靶材表面的不均匀蒸发。

5. 靶材的冷却:虽然靶台需要热隔离靶材以防止过热,但靶材仍然需要适当的冷却机制,以保持其稳定性和延长使用寿命。一些靶台设计可能包括水冷系统或气流冷却系统,以帮助降低靶材的温度。

6. 靶材的旋转:为了进一步提高薄膜的均匀性和质量,一些脉冲激光沉积系统配备了靶材旋转装置。这种装置可以在激光脉冲过程中旋转靶材,以确保靶材表面的不同部分都能够均匀地暴露在激光束下。

在靶台的实际应用中,还需要注意以下几点:

- 在安装靶材时,需要确保靶材与靶台之间的接触紧密,以避免激光脉冲过程中靶材的晃动或脱落。

- 在进行脉冲激光沉积实验之前,应对靶台进行校准和调试,以确保激光束能够准确地聚焦在靶材表面上。

- 在实验过程中,需要定期检查靶台的状态和靶材的损耗情况,并及时更换或调整靶材,以确保实验的稳定性和连续性。

总之,脉冲激光沉积 靶台的设计和应用对于脉冲激光沉积 系统的性能和实验结果具有重要影响。通过综合考虑稳定性、热隔离、灵活性、靶材均匀性、冷却机制以及靶材旋转等因素,可以设计出更加先进、高效和稳定的靶台,以满足不同领域和应用的需求。


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