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品牌 | 其他品牌 | 价格区间 | 10万-50万 |
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应用领域 | 化工,生物产业,交通,制药,综合 | 安装法兰 | CF100 (1 英寸),CF160 (2 英寸) |
真空内长度 | 165 mm (可定制长度) |
脉冲激光沉积 靶台是脉冲激光沉积系统中的关键部分,主要用于固定和支撑靶材。靶材是被激光脉冲轰击以产生材料蒸气的源材料。
脉冲激光沉积系统中的靶台设计需要满足一些关键要求:
1. 稳定性:靶台必须能够稳定地固定靶材,以防止在激光脉冲过程中靶材的移动或变形。
2. 热隔离:靶台还需要有效地隔离靶材从激光产生的热量,以防止靶材在激光脉冲过程中过热。
3. 灵活性:靶台应允许靶材的更换,以便在不同的实验或生产过程中使用不同的材料。
脉冲激光沉积 靶台的具体设计可能因不同的系统和应用而有所不同。一些高级的靶台设计可能包括自动靶材更换系统,以进一步提高生产效率。此外,靶台的设计还需要考虑到靶材的大小、形状和重量等因素。
总的来说,脉冲激光沉积靶台是脉冲激光沉积系统中的重要组成部分,其设计需要满足稳定性、热隔离和灵活性等关键要求,以确保系统的有效运行和实验的成功进行。除了上述提到的关键要求外,脉冲激光沉积靶台的设计还需要考虑以下几个因素:
4. 靶材的均匀性:为了获得高质量的薄膜,靶材在激光脉冲过程中需要均匀地蒸发。因此,靶台的设计应确保靶材表面与激光束之间的距离保持恒定,以避免靶材表面的不均匀蒸发。
5. 靶材的冷却:虽然靶台需要热隔离靶材以防止过热,但靶材仍然需要适当的冷却机制,以保持其稳定性和延长使用寿命。一些靶台设计可能包括水冷系统或气流冷却系统,以帮助降低靶材的温度。
6. 靶材的旋转:为了进一步提高薄膜的均匀性和质量,一些脉冲激光沉积系统配备了靶材旋转装置。这种装置可以在激光脉冲过程中旋转靶材,以确保靶材表面的不同部分都能够均匀地暴露在激光束下。
在靶台的实际应用中,还需要注意以下几点:
- 在安装靶材时,需要确保靶材与靶台之间的接触紧密,以避免激光脉冲过程中靶材的晃动或脱落。
- 在进行脉冲激光沉积实验之前,应对靶台进行校准和调试,以确保激光束能够准确地聚焦在靶材表面上。
- 在实验过程中,需要定期检查靶台的状态和靶材的损耗情况,并及时更换或调整靶材,以确保实验的稳定性和连续性。
总之,脉冲激光沉积 靶台的设计和应用对于脉冲激光沉积 系统的性能和实验结果具有重要影响。通过综合考虑稳定性、热隔离、灵活性、靶材均匀性、冷却机制以及靶材旋转等因素,可以设计出更加先进、高效和稳定的靶台,以满足不同领域和应用的需求。
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