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串集多腔镀膜设备

简要描述:串集多腔镀膜设备是一組真空腔系統,這些真空腔系統通过位于系統中心的传输腔相互连接。从基材的清洁、镀膜与封裝的所有过程都在不破坏真空的环境下连续进行。

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  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2024-01-18
  • 访  问  量:341

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品牌其他品牌应用领域环保,化工,电子

串集多腔镀膜设备是一組真空腔系統,這些真空腔系統通過位於系統中心的傳輸腔相互連接。從基材的清潔、鍍膜與封裝的所有過程都在不破壞真空的環境下連續進行。所有這些過程使外部環境的影響最小化,以防止在沉積的過程中基板表面氧化,並為元件製造提供了最大效率。

Syskey可根據客戶要求提供多腔體鍍膜系統。 我們的系統通常包含濺鍍、蝕刻、PECVD、熱蒸發、ALD、退火、電漿清洗和冷卻系統,這些系統可用於FPD、電子行業、太陽能電池和半導體行業。

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串集多腔镀膜设备参数

應用领域腔體
  • 半導體行業。

  • 太陽能電池。

  • LED。

  • 有機發光二極體。

  • 有機光伏打電池。

  • 平板顯示器。

  • 客製化的腔體尺寸取決於基板尺寸和應用。

  • 帶有機械手臂的鋁製腔體,用於在腔體之間的傳送。



選件

  • 濺鍍。

  • PECVD。

  • 乾蝕刻。

  • ALD/ PEALD。

  • 電漿清洗。

  • 熱退火。

  • 電子束蒸發。

  • 熱蒸鍍




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