咨询热线

13810961731

当前位置:首页  >  技术文章  >  台式薄膜探针反射仪的应用

台式薄膜探针反射仪的应用

更新时间:2023-06-14      点击次数:243
台式薄膜探针反射仪应用:
二十年来,SENTECH已经成功地销售了用于各种应用的薄膜厚度探针FTPadv。这种台式反射仪的特点是不管在低温或高温下,在工业或研发环境中,都能通过远程或直接控制,对小样品或大样品进行实时或在线厚度测量。  
台式反射仪FTPadv精确、可重复地测量反射和透明衬底上透明和弱吸收膜的厚度和折射率。FTPadv可以结合在显微镜上,或者配备有稳定的光源,用于测量厚度达到25µm(根据要求可更厚)的膜层。更具备了从SENTECH光谱椭偏仪经验中受益的预定义的、经由客户验证的、以及随时可以使用的应用程序的广泛数据库。  
FTPadv的特征在于对来自叠层样品的任何膜层的厚度进行测量,使得FTPadv成为膜厚测量的理想成本效益的解决方案。用于工艺控制的FTPadv包括具有采样器的光纤束、具有卤素灯的稳定光源以及FTP光学控制站。局域网连接到PC允许了远程控制的FTPadv在工业应用,如恶劣环境,特殊保护空间或大型机械。  
反射仪FTPadv带有大量预定义的配方,例如半导体上的介质膜、半导体膜、硅上的聚合物、透明衬底上的膜、金属衬底上的膜等等。自动建模特性允许通过与光谱库的快速比较来检测样本类型。该反射仪将操作误差减到很小。用光学反射法测量膜厚从未如此容易。  
SENTECHFTPadv菜单驱动的操作软件允许单层和叠层结构的厚度测量,具有操作指导。此外,它还具有强大的分析工具和出色的报告输出功能。附加的自动扫描软件可用于控制电动样品台。将软件升级到用于反射测量的高级分析的软件包FTPadvEXPERT,即可应用于具有未知或不恒定光学特性的材料。因此,单层薄膜厚度测量以及折射率和消光系数分析是可实现的。