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品牌 | 其他品牌 | 应用领域 | 环保,化工,电子 |
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原子层蚀刻设备介绍:
原子層蝕刻設備ALE)是一種先進的蝕刻技術,可精準的控制其蝕刻深度。隨著元件尺寸的進一步減小,需要進一步的使用ALE才能達到其所需的精度。
這就引起了人們對被稱為原子級蝕刻(ALE)的技術的關注,該技術克服了原子級常規蝕刻的局限性。基於電漿的原子層蝕刻是氣體以定量注入和離子轟擊的周期性蝕刻過程,並具有去除單個薄膜層、極低的損壞率等優點。
SYSKEY的系統可以精準的控制製程氣體與電漿製程,並提供高精準度的薄膜蝕刻。
原子层蚀刻设备参数:
應用領域 | 腔體 |
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配置和優點 | 選件 |
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