结合椭偏反射性能优异的多角度手动角度计和角度精度优越的激光椭偏仪允许测量单层薄膜和层叠膜的折射率、消光系数和膜厚。

多角度激光椭偏仪性能优异的多角度手动角度计和角度精度优越的激光椭偏仪允许测量单层薄膜和层叠膜的折射率、消光系数和膜厚。

激光椭偏仪SE 800 PV是分析结晶和多晶硅太阳能电池防反射膜的理想工具。可以测量单层薄膜(SiNx、SiO2、TiO2、Al2O3)和多层叠层膜(SiNX/SiO2、SiNx1/SiNx2、SiNx/Al2O3)。

激光椭偏仪 多角度SE 400adv PV在632.8nm的氦氖激光波长下，在纹理化的单晶和多晶硅片上提供防反射单膜的膜厚和折射率。可更换的晶片载片器允许对多晶晶片和碱性织构的单晶晶片进行测量。

激光椭偏仪 SE 400adv可用于从可选择的、应用特定的入射角度表征单层薄膜和基片。自动准直透镜确保在大多数平坦反射表面的吸收或透明衬底上进行准确测量。多角度测量的集成支持(40°—90°,5°步进)，可用于确定层叠的厚度、折射率和消光系数。为了补偿激光椭偏测量中厚度测量的模糊性，在厚度测量中也采用了多角度测量。