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结合椭偏反射

简要描述:结合椭偏反射性能优异的多角度手动角度计和角度精度优越的激光椭偏仪允许测量单层薄膜和层叠膜的折射率、消光系数和膜厚。

  • 产品型号:CER的SE 500adv
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2023-09-08
  • 访  问  量:423

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详细介绍

品牌其他品牌产地类别国产
应用领域化工,电子

厚度确定

椭偏测量和反射测量的结合允许通过自动识别循环厚度周期来快速且明确地确定透明膜的厚度。

宽的测量范围

激光椭偏仪和反射仪的结合将透明薄膜的厚度范围扩展到25μm,更多地取决于光度计的选项。

扩展激光椭偏仪的极限

结合椭偏反射性能优异的多角度手动角度计和角度精度优越的激光椭偏仪允许测量单层薄膜和层叠膜的折射率、消光系数和膜厚。


SE 500adv结合了椭偏仪和反射仪,了测量透明膜层厚度的模糊性。它把可测量的厚度扩展到25m,因此SE 500adv扩展了标准激光椭偏仪SE 400adv的能力,特别适用于分析较厚的介质膜、有机材料、光阻、硅和多晶硅薄膜。

SE 500adv可作为激光椭偏仪、膜厚探针和CER椭偏仪使用。因此,它提供了标准激光椭偏仪从未达到的灵活性。作为椭偏仪,可以进行单角度和多角度测量。当用作膜厚探针时,在正常入射下测量透明或弱吸收膜的厚度。

SE 500adv结合椭偏反射中的椭偏测量和反射测量的组合包括椭圆测量光学部件、角度计、组合反射测量头和自动准直透镜、样品台、氦氖激光光源、激光检测单元和光度计。

SE 500adv的选项支持在微电子、微系统技术、显示技术、光伏、化学等领域的应用。


X-y-mapping stageThickness map of spin coated photoresist / Si (substrate) with step size of 500 µm and 100 µm11SE 500-300 with manual stage and autofocusCombined laser ellipsometer with reflectometer


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