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感应耦合电浆(InductivelyCoupledPlasma,ICP)蚀刻技术是一种常用于微电子和半导体制造中的材料去除技术。监测这项技术的过程对于确保产品质量和工艺稳定性至关重要。以下是关于ICP蚀刻监测技术的详细介绍。1.ICP蚀刻技术概述ICP蚀刻是一种利用高频电流在气体中产生等离子体,从而实现对材料的选择性去除的方法。该技术广泛应用于半导体制造、MEMS(微电子机械系统)和纳米技术等领域。其主要优点包括:高选择性:能够在不同材料之间实现精确的蚀刻。良好的均匀性:能够...
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X射线显微镜成像原理主要基于材料对X射线的衍射、散射和吸收特性。以下是对其原理的具体分析:1、衍射原理:当高能X射线通过材料时,会观察并收集它们衍射的图样,从而获得有关材料内部结构的信息。2、散射原理:X射线与样品中的原子相互作用后,以同样的能量返回,提供了有关材料表面和内部结构的信息。非弹性散射则在X射线与物质原子相互作用后,能量发生改变,提供了有关材料中电子和元激发态的信息。3、吸收原理:材料对不同能量的X射线有不同的吸收特性。被物质吸收的X射线会被探测器捕捉到,形成成像...
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半导体材料分析主要涉及对材料的物理、化学和电学性能以及结构特性的全面检测和评估。以下是具体介绍:一、物理性能测试1、光谱分析:通过测量材料对特定波长光的吸收、发射或散射特性,来识别和定量分析材料中的元素。这种方法对于快速分析半导体材料的元素组成非常有效。2、X射线衍射:利用X射线与材料晶格发生弹性散射时产生的衍射现象,获取材料的晶体结构信息。这是一种无损、快速且准确的晶体结构分析方法。3、电子显微镜技术:包括扫描电子显微镜(SEM)和透射电子显微镜(TEM)。SEM通过电子束...
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原子层沉积(ALD)和磁控溅射(MS)是两种常用的薄膜制备技术,它们在多个方面存在显著差异。以下是对这两种技术的对比介绍:一、原理1、原子层沉积:原子层沉积通过将气相前驱体脉冲交替地通入反应器并在沉积基体上化学吸附并反应而形成沉积膜的一种方法。它基于自限制的化学反应,每次反应只沉积一层原子或分子,因此可以实现高的沉积精度和均匀性。2、磁控溅射:磁控溅射是一种物理气相沉积工艺,它使用磁场来控制带电离子粒子的行为,从而将靶材表面的原子喷射到基板表面上形成薄膜。该过程涉及高能粒子与...
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奥林巴斯CX33作为全新的生物显微镜,一般常应用于生物学中观察细胞结构、微生物等人眼看不到的物体,采用UIS2无限远光学系统的CX33仿佛就是为这些而生,作为精密的光学仪器,用户在操作或者使用的过程中一定要明确了解其各光学部件以及各部件的作用,只有如此才可以掌握正确的使用方法,成为一个既会使用又会维护的显微镜达人。奥林巴斯CX33生物显微镜是一款高级生物显微镜,常见故障可能包括镜头清洁、光源故障、焦距调整等问题。以下是一些可能的故障解决方法:镜头清洁:如果镜头出现污渍或灰尘,...
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明场显微成像是显微镜使用中基础广泛的一种观察方式。蔡司共聚焦显微镜作为高精度的成像工具,不仅能够提供高分辨率的共聚焦图像,也能在明场模式下捕捉样品的细节。下面将指导您如何使用共聚焦显微镜进行明场成像,以及如何优化成像参数以获得好的图像质量。一、准备工作1、选择合适的物镜:根据样品的大小和所需的放大倍数,选择适当的物镜。2、调整光源:确保光源强度适中,过强或过弱都可能影响图像质量。3、放置样品:将样品放置在载玻片上,并用盖玻片轻轻覆盖,避免产生气泡和过度压力。二、拍摄步骤1、聚...
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在科学研究和材料分析领域,电子显微镜是一种重要工具。蔡司作为光学和光电行业的重要参与者,其生产的电子显微镜以高分辨率和强大的成像能力著称。下面旨在为使用者提供卡尔蔡司电子显微镜的基本操作指引,确保实验的准确性与高效性。1、准备工作:在开始任何操作之前,请确认显微镜已经妥善安装,并且所有的电源连接都是安全和稳固的。检查样品室是否清洁,以防污染影响观察效果。此外,确保显微镜处于关闭状态,并断开所有电源,以便进行初步设置。2、开机与预热:打开蔡司电子显微镜的主电源开关,让设备进行预...
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在材料科学和纳米技术领域,双束电镜(DualBeam)以其工作原理和多样化的功能,成为了研究材料微观结构与性能关系的重要工具。下面将详细介绍双束电镜的工作原理、主要组件及其应用,帮助读者全面了解这一先进的表征技术。双束电镜,顾名思义,配备了两套独立的电子光学系统,一套用于扫描电子显微镜(SEM)成像,另一套用于聚焦离子束(FIB)加工。这种设计使得双束电镜不仅能提供高分辨率的表面形貌成像,还能实现精确的微纳加工。1、扫描电子显微镜(SEM):SEM部分通过发射细聚焦的电子束扫...