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激光 分子束外延系统

简要描述:激光 分子束外延系统是一种用于物理学、材料科学领域的工艺试验仪器,综合了脉冲激光沉积和分子束外延的特点和优势。它能在高真空、真空条件下实现原位实时监控薄膜原子尺度层状外延生长。这一系统适用于多种有机、无机薄膜的制备,尤其适宜于用其它制膜设备和方法难以制备的高熔点、多元素(特别是含有气体元素时)、复杂层状结构的薄膜和超晶格的制备。

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  • 更新时间:2024-04-24
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激光 分子束外延系统是一种用于物理学、材料科学领域的工艺试验仪器,综合了脉冲激光沉积和分子束外延的特点和优势。它能在高真空、真空条件下实现原位实时监控薄膜原子尺度层状外延生长。这一系统适用于多种有机、无机薄膜的制备,尤其适宜于用其它制膜设备和方法难以制备的高熔点、多元素(特别是含有气体元素时)、复杂层状结构的薄膜和超晶格的制备。此外,它还可以同时进行激光与物质相互作用及成膜过程的物理、化学观测,为探索、开发新材料、新器件及相关基础研究提供了一个强有力的平台。

以上内容仅供参考,如需更多信息,可咨询激光分子束外延系统方面的专家。激光分子束外延系统的核心部分是激光脉冲沉积系统,该系统使用高能量的脉冲激光束照射靶材,使靶材表面瞬间达到高温高压状态,进而蒸发、离化靶材原子或分子,形成高温、高密度的等离子体羽辉。这些离子、原子或分子在羽辉中迅速冷却并定向传输到基片表面,最终沉积形成薄膜。

激光 分子束外延系统的另一个重要组成部分是超高真空系统,该系统能够在生长过程中保持真空度,有效防止杂质和污染物对薄膜生长的影响。同时,该系统还配备了多种原位监测和表征手段,如反射式高能电子衍射仪(RHEED)、光学显微镜、椭偏仪等,可以对薄膜生长过程进行实时监控和精确控制。

此外,激光分子束外延系统还具有高度的灵活性和可扩展性。通过改变靶材和基片的种类,以及调整激光参数和生长条件,可以制备出各种不同类型、不同性能的薄膜材料。同时,该系统还可以与其他先进的实验设备和技术相结合,如原子力显微镜(AFM)、扫描隧道显微镜(STM)等,以进一步探索薄膜材料的物理和化学性质。

总之,激光分子束外延系统是一种功能强大、应用广泛的薄膜制备技术,它在材料科学、物理学、电子学等领域的研究和应用中发挥着重要作用。随着科学技术的不断发展,激光分子束外延系统将在更多领域展现出的优势和潜力。


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