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FPD-PVD磁控濺鍍設備

简要描述:FPD-PVD磁控濺鍍設備針對中小尺寸的需求開發串集的PVD 設備,擁有4個單獨的濺鍍腔體,讓客戶能任意搭配沉積的材料,同時保有彈性和具有選擇性的系統。

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  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2023-09-09
  • 访  问  量:257

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品牌其他品牌应用领域环保,化工,电子

FPD-PVD磁控濺鍍設備

隨著LCD面板和製造所需玻璃的尺寸的增加,製造設備也隨著變得更大,需要越來越大的設備投資。SYSKEY針對中小尺寸的需求開發串集的PVD 設備,擁有4個單獨的濺鍍腔體,讓客戶能任意搭配沉積的材料,同時保有彈性和具有選擇性的系統。

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FPD-PVD磁控濺鍍設備

應用領域
  • TFT-LCD

  • 太陽能電池

  • 觸碰屏

  • 氧化物、氮化物和金屬材料的研究


配置和優點選件
  • 客製化基板尺寸最大為550 x 650 mm2(玻璃)

  • 優異的薄膜均勻度小於±5%

  • 穩定的溫度控制,可將基板加熱到400°C

  • Cassette傳送站

  • 基材電漿清潔

  • OES、RGA或製程監控的額外備用

    端口。


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