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RIE等离子刻蚀机

简要描述:RIE等离子刻蚀机
我们的等离子蚀刻设备包括用功能强大的用户友好软件与模拟图形用户界面,参数窗口,工艺窗口,数据记录和用户管理。

  • 产品型号:SI 591
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2023-09-07
  • 访  问  量:344

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详细介绍

品牌其他品牌应用领域环保,化工,电子

RIE等离子刻蚀机

工艺灵活性

RIE蚀刻机SI 591 特别适用于氯基和氟基等离子蚀刻工艺

占地面积小且模块化程度高

SI 591 可配置为单个反应腔或作为片盒到片盒装载的多腔设备。

SENTECH控制软件

我们的等离子蚀刻设备包括用功能强大的用户友好软件与模拟图形用户界面,参数窗口,工艺窗口,数据记录和用户管理。


预真空室和计算机控制的等离子体刻蚀工艺条件,使得SI 591 具有优异的工艺再现性和等离子体蚀刻工艺灵活性。灵活性、模块性和占地面积小是SI 591的设计特点。样品直径可达200mm,通过载片器加载。SI 591可以配置为穿墙式操作或具有更多选项的占地面积操作。

位于顶部电极和反应腔体的更大诊断窗口可以轻易地容纳SENTECH激光干涉仪或OES和RGA系统。椭偏仪端口可用于SENTECH椭偏仪进行原位监测。

SI 591结合了计算机控制的RIE平行板电极设计的优点和预真空室系统。SI 591可配置用于各种材料的刻蚀。在SENTECH,我们提供不同级别的自动化程度,从真空片盒载片到一个工艺腔室或多六个工艺模块端口,可用于不同的蚀刻和沉积工艺模块组成多腔系统,目标是高灵活性或高产量。SI 591也可用作多腔系统中的一个工艺模块。


Deep anisotropic etching of silica with CHF2 / H2 chemistry1RIE plasma reactor chamber2-modules RIE cluster for etching of aluminum padsSENTECH control software for plasma equipment11Etching of Ta2O5 on silicon by fluorine chemistrySelective etching for GaAs / AlGas, courtesy of FBH Berlin, GermanyEtching of polysilicon by chlorine chemistryMesa etching of AlGaAs, courtesy of FBH Berlin, GermanyEtching of AlCu / TiW interconnect by chlorine chemistryEtching of GaAs by chlorine chemistry, courtesy of FBH Berlin, GermanyEtching of cromium by fluor chemistry, courtesy of IAP Jena, GermanyEtching of SiO2 on silicon with CHF3 / H2 chemistry11Etching of aluminum by chlorine chemistry




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