一、环境条件
1、温度和湿度控制：确保实验室内的温度和湿度保持在适宜的范围内，通常温度控制在18~25℃之间，相对湿度在40%~70%之间。这有助于防止电子元件受潮损坏，并保持机械部件的性能稳定。
2、防尘：定期清洁显微镜周围的环境，减少灰尘积累。可以使用无纺布或毛刷清理显微镜表面的灰尘，避免灰尘进入显微镜内部影响成像质量。
3、防震：将显微镜放置在稳固的工作台上，远离震动源，如大型设备、交通要道等。如果实验室内有频繁的震动，可以考虑安装减震台来减少震动对显微镜的影响。
4、磁场控制：避免将显微镜放置在强磁场附近，如磁铁、变压器等。磁场可能会干扰电子束的正常运动轨迹，影响图像质量。
二、光学系统维护
1、镜头清洁：定期检查物镜、目镜等光学部件是否干净，如有灰尘或污渍，使用专用的镜头纸或擦镜纸轻轻擦拭。避免使用有机溶剂或粗糙的材料擦拭镜头，以免刮伤镜片。
2、照明系统检查：对于配备照明系统的扫描显微镜，定期检查灯泡的亮度是否正常，灯丝是否完好。如果发现灯泡亮度不足或灯丝断裂，及时更换灯泡。同时，检查照明系统的电路连接是否松动，确保照明稳定。
3、滤光片清洁与更换：如果显微镜配备了滤光片，定期清洁滤光片表面的灰尘和污渍。当滤光片老化或损坏时，及时更换新的滤光片，以保证图像的色彩还原和对比度。
三、电子光学系统维护
1、真空系统维护：定期检查真空系统的密封性，确保真空度符合要求。如果发现真空度下降，及时检查真空泵、真空管道等部件是否有泄漏，并进行维修。定期更换真空泵的油，保证真空泵的正常运行。
2、电子枪维护：减少开关电子束高压和抽放真空的次数，保持镜筒的高真空度，减缓灯丝的氧化。在日常使用中切勿关闭灯丝，观察样品一定要干燥，不含水分和其他挥发性物质，以防引起灯丝熔断或骤灭。
3、物镜光阑维护：采用较远的工作距离和合适的光阑孔径，保持光阑清洁。尽量减少真空系统自身带来的污染，延长光阑的使用寿命，如机械泵应定期换油，冷却循环水机要有足够的制冷量。磁性样品要预先消磁，生物等含水或易挥发溶剂的样品必须干燥，以防气体挥发造成光阑等部件的损坏。
四、机械部件维护
1、载物台清洁与润滑：定期清洁载物台表面，去除样品残留和灰尘。检查载物台的移动是否顺畅，如有必要，可以在导轨上涂抹适量的润滑油，但要注意不要让润滑油污染光学部件。
2、调焦机构检查：检查调焦机构的灵活性和准确性，确保载物台能够平稳地上下移动。如果发现调焦机构有卡顿或不灵活的情况，及时进行调整或维修。
五、软件系统维护
1、更新与备份：定期更新显微镜的控制软件和驱动程序，以确保软件功能的完整性和稳定性。在进行软件更新之前，建议先备份重要的数据和配置文件，以防更新过程中出现意外情况导致数据丢失。
2、参数设置检查：定期检查显微镜的软件参数设置是否正确，如放大倍数、亮度、对比度、色彩平衡等。如果发现参数设置异常，及时进行调整，以保证图像的准确性和可重复性。
六、日常使用注意事项
1、规范操作：严格按照操作规程使用显微镜，避免误操作造成设备损坏。在使用前，仔细阅读仪器的使用说明书和操作指南，熟悉仪器的功能和操作方法。
2、开机预热：在打开电源后，让显微镜预热一段时间，使其达到稳定的工作状态。不同型号的显微镜预热时间可能有所不同，一般建议预热15-30分钟。
3、关机顺序：使用完毕后，按照正确的关机顺序关闭显微镜。先关闭高压、加热装置等，再关闭计算机和显示器等外部设备。最后，关闭显微镜的电源开关，并拔掉电源线。
ZEISS扫描显微镜的日常维护需要从多个方面入手，包括环境条件控制、光学系统、电子光学系统、机械部件等。通过定期进行这些维护工作，可以确保显微镜的稳定性和可靠性，延长其使用寿命，并获得高质量的显微图像。
