X射线显微镜的分辨技术主要围绕其成像原理、核心部件、分辨率提升方法及典型应用展开，以下是对其分辨技术的详细介绍：
成像原理与核心部件
X射线显微镜的成像原理基于材料对X射线的衍射、散射和吸收特性。其核心部件包括：
X射线源：实验室常用X射线管（如旋转阳极X射线管、细聚焦X射线管）、直线加速器或同步辐射装置。同步辐射因波长可调、高平行度和高强度成为理想光源，但实验室光源（如细聚焦X射线管）通过减小焦点尺寸（达数十微米）和提升光亮度（接近同步辐射），也实现了高分辨率成像。
聚焦元件：由于X射线波长短，在玻璃等介质中折射率接近1，传统光学透镜无法使用，因此采用多层膜反射聚焦镜、波带片或毛细管透镜。波带片通过同心圆环结构实现聚焦，相位波带片效率更高；毛细管透镜利用X射线在毛细管内壁的全反射改变方向，可聚焦单色或白色X射线，能量范围约200eV至80keV。
成像放大元件：主要为波带片，与聚焦元件配合实现两级放大。部分系统还采用光学物镜放大技术，通过几何放大加光学放大提升分辨率。
探测器：常用CCD（电荷耦合器件）、闪烁体加CCD或sCMOS探测器，将X射线信号转换为电信号。探测器像素数有限（通常1000×1000至3000×3000），限制了体素大小和视场范围。
分辨率提升方法
X射线显微镜的分辨率受光源波长、数值孔径（NA）和探测器性能限制，实际分辨率通常为10-100nm。提升分辨率的方法包括：
优化光源：使用更短波长的X射线（如同步辐射）或高亮度实验室光源（如细聚焦X射线管），减少光斑尺寸，提升光亮度。
改进聚焦元件：采用菲涅尔波带板或多层膜光学系统，提升聚焦能力。例如，菲涅尔波带板可实现10nm分辨率，多层膜反射聚焦镜可达100nm。
增强探测器性能：使用高分辨率探测器（如2K×2KCCD相机），减少像素尺寸，提升图像细节捕捉能力。
两级放大技术：结合几何放大和光学放大，突破单一几何放大的限制，实现大样品高分辨成像。
三维重构算法：通过多角度投影成像和计算机三维重构技术，提升空间分辨率。例如，锥形X线束可获得各向同性的容积图像，提高射线利用率和成像速度。
典型应用与分辨率表现
X射线显微镜在材料科学、生命科学和地质科学等领域广泛应用，典型设备及分辨率表现如下：
材料科学：检测增材制造内部应力裂纹、分析电池构造缺陷。例如，德国卡尔蔡司Xradia620Versa三维空间分辨率达500纳米，支持亚微米级成像和衍射衬度断层扫描。
生命科学：观测细胞亚微米结构、研究生物组织三维形态。布鲁克Skyscan1272体素分辨率达0.35µm，可扫描直径75mm样本，实现高精度生物成像。
地质科学：孔隙结构定量分析、渗流研究。X射线显微镜可提供精准的三维亚微米成像，用于数字岩石物理模拟和原位多相渗流研究。
